| Summary: | Polimer hibrid merupakan gabungan antara polimer organik dan anorganik. Penggabungan tersebut diharapkan akan menghasilkan sifat unggul dari bahan organik dan anorganik yang dapat dimanfaatkan untuk aplikasi. Polimer hibrid dapat digunakan untuk membuat pola dalam aplikasi mikro optik seperti pandu gelombang. Dalam penelitian ini dibuat variasi film tipis polimer hibrid dengan variasi konsentrasi berat fotoinisiator dan termoinisiator, selain itu dibuat pola pandu gelombang dengan proses fotopolimerisasi. Pembuatan polimer hibrid dilakukan dengan metode sol-gel dan fotopolimerisasi. Proses sol-gel menghasilkan rantai polimer anorganik, sedangkan proses fotopolimerisasi menghasilkan rantai polimer organik. Setelah proses fotopolimerisasi, rantai organik dan anorganik akan berikatan silang (cross-linking). Spektrum reflektansi dari film tipis polimer hibrid sebelum, sesudah fotopolimerisasi dan setelah post-bake terdapat perbedaan fasa gelombang yang menunjukkan perbedaan ketebalan film. Sampel dengan variasi konsentrasi berat Irgacure 819 sebesar 0,3%wt dan 2%wt mengalami penyusutan volume film masing-masing 2,44% dan 4,93%. Sampel dengan penambahan variasi konsentrasi berat Dicumyl peroxide sebesar 1%wt dan 10%wt mengalami penyusutan volume film masing-masing 8,34% dan 5,83%. Pola pandu gelombang dihasilkan dengan proses fotopolimerisasi yang diikuti dengan proses etching, menghasilkan pandu gelombang dengan bentuk struktur kanal persegi yang baik dan tidak terputus-putus. Hal tersebut mengindikasikan proses polimerisasi rantai organik telah berjalan dengan baik dan dapat bertahan setelah dilakukan etching.
Hybrid polymer is composite between organic and inorganic polymer. This composite could make good properties from organic and inorganic which can be used for applications. Hybrid polymer can be used as photo-patternable material to produce micro-optical components like waveguide. In this work, weight concentration of photoinitiator and thermoinitiator in hybrid polymer thin film was varied. Else, waveguide pattern was fabricated using photolithographic etching process. Sol-gel method and photo-polymerization were used to synthesis hybrid polymer. Sol-gel process will make propagation inorganic chain of polymer, although photo-polymerization will make propagation organic chain of polymer. After photo-polymerization, organic and inorganic parts are cross-linked. Reflectance spectrum of hybrid polymer thin film before photo-polymerization, after photo-polymerization and after post-bake show different of wave phase indicating different thickness of the thin films. Waveguide pattern is smooth and unbroken, indicates that polymerization of organic chain running well and stand after etching process.
|
|---|
