Approche alternative de l'évaluation de l'hermiticité des micro cavités. Application au packaging des MEMS
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Main Author: | |
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Language: | FRE |
Published: |
2007
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00399621 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/39/96/21/PDF/these_D_VEYRIE_IMS.pdf |