電漿輔助化學氣相沈積法成長鎢與矽化鎢應用於VLSI閘極及連線
碩士 === 國立成功大學 === 電機工程研究所 === 73 ===
Main Authors: | YANG, HUI-MING, 楊徽明 |
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Other Authors: | ZHANG, JUN-YAN |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/10296182415414664672 |
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