The electrical and optical properties of ultra thin PtSi diodes
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學(工程)研究所 === 82 === PtSi/p-Si(100) 蕭基二極體在 3-5 微米紅外線偵測器有很廣泛的應用， 一般PtSi薄膜的厚度在 20-100 埃有最大的量子效率。本論文將討論在超 高真空 (ultra high vacuum) 下製程所得到的超薄 PtSi/p-Si(100)蕭基 二極體的電性與光性。本實驗使用 25-35 Ω-cm 的 p-Si(100) 晶圓，經 過標準的清洗步...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1994
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/26700086012257936935 |