以電漿輔助化學氣相沈積法室溫成長含氫碳化矽薄膜之研究

碩士 === 國立中央大學 === 光電科學研究所 === 87 ===

Bibliographic Details
Main Authors:	Lin Lo, 羅霖
Other Authors:	Pei-Li Chen
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	1999
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08271950861248924531

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以電漿輔助化學氣相沈積法室溫成長含氫碳化矽薄膜之研究

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