以電漿輔助化學氣相沈積法室溫成長含氫碳化矽薄膜之研究
碩士 === 國立中央大學 === 光電科學研究所 === 87 ===
Main Authors: | Lin Lo, 羅霖 |
---|---|
Other Authors: | Pei-Li Chen |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
1999
|
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08271950861248924531 |
Similar Items
-
以電漿助長化學氣相沈積法成長非晶質矽氫薄膜及其特性之研究
by: Lin, Wan-Li, et al. -
電漿化學氣相沈積氮化鋁薄膜之研究
by: WU, ZHENG-DAO, et al.
Published: (1989) -
二氧化碳雷射輔助電漿激發式化學氣相沈積非晶形二氧化矽薄膜
by: 邱欣慶
Published: (2000) -
電漿輔助化學氣相沈積非晶形矽光電特性及其應用之研究
by: Qiu, Shan-Wen, et al. -
電漿輔助化學氣相沉積二氧化矽薄膜之內應力分析
by: 林士淵
Published: (2001)