Physics and engineering of sheet plasma devices
また、この研究は、特定の動作条件で生成されたシートプラズマで、プラズマやシートプラズマの寸法を決定する動作パラメータなどのプラズマ条件を理解し、最適化パラメータと将来の産業用アプリケーションの条件を導き出すことも目的としています。 そのため、この研究は、表面技術アプリケーション用のシートプラズマデバイスの開発と理解に貢献することを試みています。 === Sheet plasmas have the advantage of producing thin films and functional surfaces by generating localized high-density and...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Others |
| Language: | en |
| Published: |
2019
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_uri&item_id=1571 http://id.nii.ac.jp/1707/00001563/ https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=1571&item_no=1&attribute_id=21&file_no=1 https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=1571&item_no=1&attribute_id=21&file_no=2 |
Internet
https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_uri&item_id=1571http://id.nii.ac.jp/1707/00001563/
https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=1571&item_no=1&attribute_id=21&file_no=1
https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=1571&item_no=1&attribute_id=21&file_no=2