STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES

STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第12493号 === 論工博第4047号 === 新制||工||1503(附属図書館) === 28243 === (主査)教授 平尾 一之, 教授 横尾 俊信, 教授 田中 勝久 === 学位規則第4条第2項該当

Bibliographic Details
Main Author: Oba, Masatoshi
Other Authors: 平尾, 一之
Format: Others
Language:English
Published: 京都大学 (Kyoto University) 2010
Subjects:
MEMS
infrared sensor
TSV
Through-hall
wafer-level bonding
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/126817
id ndltd-kyoto-u.ac.jp-oai-repository.kulib.kyoto-u.ac.jp-2433-126817
record_format oai_dc
spelling ndltd-kyoto-u.ac.jp-oai-repository.kulib.kyoto-u.ac.jp-2433-1268172017-10-06T03:46:59Z STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES 縦方向に集積化されたMEMSデバイス作製の研究 Oba, Masatoshi 平尾, 一之 横尾, 俊信 田中, 勝久 大場, 正利 オオバ, マサトシ MEMS infrared sensor TSV Through-hall wafer-level bonding 500 Kyoto University (京都大学) 0048 新制・論文博士 博士(工学) 乙第12493号 論工博第4047号 新制||工||1503(附属図書館) 28243 (主査)教授 平尾 一之, 教授 横尾 俊信, 教授 田中 勝久 学位規則第4条第2項該当 2010-10-12T10:31:19Z 2010-10-12T10:31:19Z 2010 2010-09-24 2010-09-24 DFAM Thesis or Dissertation http://hdl.handle.net/2433/126817 10.14989/doctor.r12493 eng application/pdf 京都大学 (Kyoto University) 京都大学
collection NDLTD
language English
format Others
sources NDLTD
topic MEMS
infrared sensor
TSV
Through-hall
wafer-level bonding
500
spellingShingle MEMS
infrared sensor
TSV
Through-hall
wafer-level bonding
500
Oba, Masatoshi
STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES
description Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第12493号 === 論工博第4047号 === 新制||工||1503(附属図書館) === 28243 === (主査)教授 平尾 一之, 教授 横尾 俊信, 教授 田中 勝久 === 学位規則第4条第2項該当
author2 平尾, 一之
author_facet 平尾, 一之
Oba, Masatoshi
author Oba, Masatoshi
author_sort Oba, Masatoshi
title STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES
title_short STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES
title_full STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES
title_fullStr STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES
title_full_unstemmed STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES
title_sort studies on the fabrication of vertical integrated mems devices
publisher 京都大学 (Kyoto University)
publishDate 2010
url http://hdl.handle.net/2433/126817
work_keys_str_mv AT obamasatoshi studiesonthefabricationofverticalintegratedmemsdevices
AT obamasatoshi zòngfāngxiàngnijíjīhuàsaretamemsdebaisuzuòzhìnoyánjiū
_version_ 1718546699955208192

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