面外共振振動を用いた多結晶シリコン薄膜メンブレンの疲労試験
京都大学 === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第17789号 === 工博第3768号 === 新制||工||1576(附属図書館) === 30596 === 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 === (主査)教授 田畑 修, 教授 琵琶 志朗, 准教授 土屋 智由, 教授 北村 隆行 === 学位規則第4条第1項該当 === Doctor of Philosophy (Engineering) === Kyoto University === DFAM...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | Japanese |
| Published: |
京都大学 (Kyoto University)
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2433/179358 |