Drawing Functional Micropatterns on Flexible Polymer Substrates via VUV-lithography

京都大学 === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第22776号 === 工博第4775号 === 新制||工||1747(附属図書館) === 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 === (主査)教授 杉村 博之, 教授 邑瀬 邦明, 教授 宇田 哲也 === 学位規則第4条第1項該当 === Doctor of Philosophy (Engineering) === Kyoto University === DFAM...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Wu, Cheng-Tse
Other Authors: 杉村, 博之
Format: Doctoral Thesis
Language:English
Published: Kyoto University 2020
Subjects:
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/259044