Synthèse et caractérisation chimique de cristaux et films de diamant par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes
L’objectif de cette étude était la caractérisation chimique de cristaux et films de diamant élaborés par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes sur silicium. Il s’agit d’une approche pluritechnique fondée essentiellement sur les techniques spectroscopiques. La spectroscopie Ra...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2006INPL075N/document |