Auto-assemblage de copolymères à blocs à haute force de ségrégation dans une configuration de film mince

Ce manuscrit de thèse porte sur la formation de masques de réseaux denses de nanopiliers ou nanotrous à partir de l’auto-assemblage de copolymères à blocs (CPB) à haute force de ségrégation, pour des applications dans la micro-électronique. Des copolymères à blocs, de type ABA, constitués d’un bloc...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Reboul, Chrystilla
Other Authors: Bordeaux 1
Language:fr
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://www.theses.fr/2013BOR15235/document