Dégradation par électromigration dans les interconnexions en cuivre : étude des facteurs d'amélioration des durées de vie et analyse des défaillances précoces
Les circuits intégrés sont partie prenante de tous les secteurs industriels et de la vie couranteactuels. Leurs dimensions sont sans cesse réduites afin d’accroître leurs performances. Cetteminiaturisation s’accompagne notamment d’une densification et d’une complexification du réseaud’interconnexion...
Main Author: | Bana, Franck Lionel |
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Other Authors: | Grenoble |
Language: | fr |
Published: |
2013
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.theses.fr/2013GRENI081/document |
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