Κατασκευή συστήματος μέτρησης απολύτου ροής θετικών ιόντων σε ηλεκτρικές εκκενώσεις χαμηλής πίεσης
Σημαντικό ρόλο στις βιομηχανικές εφαρμογές πλάσματος παίζει η ροή των ιόντων. Ωστόσο, συχνά συναντάται το πρόβλημα της εναπόθεσης μονωτικών υμενίων καθιστώντας τους ηλεκτροστατικούς καθετήρες μη λειτουργικούς για τη μέτρηση της ροής αυτής. Ένας εναλλακτικός καθετήρας, ικανός να λειτουργήσει σε αυτές...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | gr |
| Published: |
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10889/6413 |