A Low-Power and Robust Micromachined Thermal Convective Accelerometer

This paper presents a micromachined thermal convective accelerometer with low power and high reliability. This accelerometer comprises a heater and two thermistors. The central heater elevates the temperature of the chip above ambient levels while the symmetrically arranged thermistors monitor the t...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Micromachines
المؤلفون الرئيسيون: Yizhou Ye, Shu Wan, Chen Hou, Xuefeng He, Shunbo Li
التنسيق: مقال
اللغة:الإنجليزية
منشور في: MDPI AG 2024-06-01
الموضوعات:
accelerometer
thermal convection
MEMS
tilt sensor
الوصول للمادة أونلاين:https://www.mdpi.com/2072-666X/15/7/844

الانترنت

https://www.mdpi.com/2072-666X/15/7/844

مواد مشابهة