MORPHOLOGY AND OPTICAL PROPERTIES OF AlN FILMS ON SAPPHIRE

Subject of Research. The paper presents the results of an experimental study on morphology and optical properties of AlN films on sapphire. Thin AlN films on sapphire were used as experimental samples. Method. To obtain thin films, an ion beam deposition setup was used, which includes the ion source...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
المؤلفون الرئيسيون: Oleg V. Devitsky, Dmitry A. Nikulin, Igor A. Sysoev, Vladimir B. Osipyan
التنسيق: مقال
اللغة:الإنجليزية
منشور في: ITMO University 2019-12-01
الموضوعات:
ion beam deposition
thin films
aln
sapphire
الوصول للمادة أونلاين:https://ntv.ifmo.ru/file/article/19152.pdf

الانترنت

https://ntv.ifmo.ru/file/article/19152.pdf

مواد مشابهة