Spurious-Free Shear Horizontal Wave Resonators Based on 36Y-Cut LiNbO₃ Thin Film

This article presents lithium niobate (LiNbO₃) based on shear horizontal (SH0) resonators, utilizing a suspended structure, for radio frequency (RF) applications. It demonstrates the design, analysis, and fabrication of SH0 resonators based on a 36Y-cut LiNbO<sub>3</s...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

الحاوية / القاعدة:	Micromachines
المؤلفون الرئيسيون:	Yushuai Liu, Kangfu Liu, Jiawei Li, Yang Li, Tao Wu
التنسيق:	مقال
اللغة:	الإنجليزية
منشور في:	MDPI AG 2024-03-01
الموضوعات:	lithium niobate (LiNbO<sub>3</sub>) resonator high electromechanical coupling coefficient shear horizontal wave
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/2072-666X/15/4/477