Structural Engineering of Multilayer TiN / CrN System Obtained by the Vacuum Arc Evaporation

By the X-ray diffraction, electron microscopy, and microindentation methods we have investigated the phase composition, structure, substructure and hardness of vacuum arc multilayer coatings of TiN / CrN system obtained in the range of nitrogen pressure of 1×10–5 ... 5×10–3 Torr when applying contin...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

الحاوية / القاعدة:	Журнал нано- та електронної фізики
المؤلفون الرئيسيون:	O.V. Sobol’, A.A. Andreev, V.A. Stolbovoy, V.F. Gorban’, N.V. Pinchuk, A.A. Meylekhov
التنسيق:	مقال
اللغة:	الإنجليزية
منشور في:	Sumy State University 2015-03-01
الموضوعات:	Vacuum-arc method Pressure Bias potential CrN TiN Texture Substructure Microstrain Size of crystallite
الوصول للمادة أونلاين:	http://jnep.sumdu.edu.ua/download/numbers/2015/1/articles/jnep_2015_V7_01034.pdf