Contribution of Ribbon-Structured SiO<sub>2</sub> Films to AlN-Based and AlN/Diamond-Based Lamb Wave Resonators

New designs based on S<sub>0</sub> Lamb modes in AlN thin layer resonating structures coupled with the implementation of structural elements in SiO<sub>2</sub>, are theoretically analyzed by the Finite Element Method (FEM). This study compares the typical characteristics of d...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Sensors
المؤلفون الرئيسيون: Mohammed Moutaouekkil, Jérémy Streque, Othmane Marbouh, El Houssaine El Boudouti, Omar Elmazria, Philippe Pernod, Olivier Bou Matar, Abdelkrim Talbi
التنسيق: مقال
اللغة:الإنجليزية
منشور في: MDPI AG 2023-07-01
الموضوعات:
S<sub>0</sub> Lamb-wave mode
K<sup>2</sup>
AlN/SiO<sub>2</sub> bi-layer
SiO<sub>2</sub> ribbons
TCF
الوصول للمادة أونلاين:https://www.mdpi.com/1424-8220/23/14/6284

الانترنت

https://www.mdpi.com/1424-8220/23/14/6284

مواد مشابهة