Influencia del bombardeo iónico sobre películas delgadas de nitruro de boro cúbico depositadas por pulverización catódica r. f.

Películas delgadas de nitruro de boro cúbico (c-BN) fueron depositadas mediante la técnica del d. c. y r. f. (13,56 MHz) magnetron sputtering multi-blanco, utilizando un blanco de nitruro de boro hexagonal (h-BN) con una pureza de 99,9% y una mezcla de gas Ar (95%) y N2 (5%). Los recubrimientos s...

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Published in:	Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia
Main Authors:	Gilberto Bejarano Gaitán, José Manuel Roque Caicedo, Pedro Prieto Pulido, Gustavo Zambrano, Eval Baca Miranda
Format:	Article
Language:	English
Published:	Universidad de Antioquia 2006-01-01
Subjects:	pulverización catódica nitruro de boro cúbico bombardeo iónico
Online Access:	http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43003718