Métodos empleados en el análisis de espectroscopía óptica de emisión: una revisión
En este trabajo se presentan diferentes métodos empleados para el análisis de espectros ópticos de emisión. El propósito es calcular la temperatura de excitación (Texc), temperatura electrónica (Te) y densidad electrónica (ne) empleando diversas técnicas usadas en el crecimiento de películas delgad...
| Main Authors: | , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad EAFIT
2015-01-01
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| Series: | Ingeniería y Ciencia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/2459 |
| Summary: | En este trabajo se presentan diferentes métodos empleados para el análisis de espectros ópticos de emisión. El propósito es calcular la temperatura de excitación (Texc), temperatura electrónica (Te) y densidad electrónica (ne) empleando diversas técnicas usadas en el crecimiento de películas delgadas. Algunas de estas técnicas incluyen magnetron sputtering y descargas n arco. Inicialmente, se describirán algunos principios fundamentales que soportan la técnica de Espectroscopía Óptica de Emisión (EOE); posteriormente, se considerarán algunas reglas que deben considerarse para el análisis de espectros con el fin de evitar ambigüedades. Finalmente, se presentarán algunos d los métodos espectroscópicos más determinar las propiedades físicas de plasmas.
PACS: 52.25.Dg, 31.15.V
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| ISSN: | 1794-9165 2256-4314 |