| Summary: | Bu çalışmada, ZnO yarıiletken filmleri ultrasonik kimyasal püskürtme tekniği (UKP) kullanılarak cam tabanlar üzerine depolanmıştır. Üretilen filmlerin bazı fiziksel özelliklerini iyileştirmek için farklı sıcaklıklarda ısıl tavlama işlemi yapılmış ve filmlerin optik, elektrik ve yüzey özellikleri üzerine tavlama sıcaklığının etkisi araştırılmıştır. ZnO filmlerinin elemental analizleri yapılarak filmlerin stokiyometrisi belirlenmiştir. Geçirgenlik ve soğurma spektrumları UV-VIS spektrofotometre kullanılarak alınmıştır ve yasak enerji aralıkları optik metot ile belirlenmiştir. Ayrıca filmlerin kalınlıkları, kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k) değerleri spektroskopik elipsometre (SE) cihazı kullanılarak belirlenmiştir. Filmlerin yüzey görüntüleri ve yüzey pürüzlülük değerleri atomik kuvvet mikroskobu (AKM) kullanılarak incelenmiş ve elektriksel özdirençleri dört uç metodu ile belirlenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre, ZnO filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin ısıl tavlama işlemi ile iyileştiği belirlenmiş ve ZnO filmlerinin çeşitli teknolojik alanlarda kullanım potansiyeli araştırılmıştır.
|
|---|
