Etude des non-linéarités de permittivité de diélectriques utilisés en microélectronique. Application aux capacités MIM.
Le besoin grandissant de fabriquer des circuits aux fonctions de plus en plus nombreuses<br />nécessite de développer des dispositifs électroniques nouveaux. Les condensateurs<br />METAL-ISOLANT-METAL (MIM) intégrés dans les interconnexions des circuits font<br />partie de ces disp...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Provence - Aix-Marseille I
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00131164 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/13/11/64/PDF/These_Becu.pdf |