Conception et fabrication d'un magnétomètre à jauge de contrainte
Ce travail de th'ese est consacré à la conception, la réalisation technologique et la caractérisation fonctionnelle d'un nouveau type de capteur de champ magnétique MEMS 3D. Différent de l'approche classique utilisée pour des magnétomètres MEMS 3D, le capteur conçu dans le cadre de ce...
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | fra |
| Published: |
Université de Grenoble
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00744722 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/74/47/22/PDF/2012_06_21_PHD_THESIS_DIRK_ETTELT.pdf |