Simulations du dépôt par pulvérisation plasma et de la croissance de couches minces
L'objectif de cette thèse est d'étudier le dépôt de couches minces par pulvérisation plasma à l'aide de simulations de dynamique moléculaire, en mettant l'accent sur les mécanismes de la formation de la microstructure dans diverses conditions de dépôt pertinentes pour les expérie...
| Main Author: | |
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| Language: | English |
| Published: |
Université d'Orléans
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00933201 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/93/32/01/PDF/lu.xie_3329_vm.pdf |