Anwendung des feinfokussierten Ionenstrahles zur Fertigung mikromechanischer Bauelemente

Anwendung des feinfokussierten Ionenstrahles zur Fertigung mikromechanischer Bauelemente

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Bibliographic Details
Main Authors: Geßner, T., Bischoff, Lothar, Teichert, Jochen, Breng, U., Löbner, B., Hesse, Evelyn
Language:German
Published: Forschungszentrum Rossendorf 2010
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-32519
https://hzdr.qucosa.de/id/qucosa%3A22078
https://hzdr.qucosa.de/api/qucosa%3A22078/attachment/ATT-0/

Internet

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