Contribuição ao estudo dos processos de corrosão de fotorresiste por plasma ionico e por ion reativo
Orientador: Edmundo da Silva Braga === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas === Made available in DSpace on 2018-07-17T07:44:27Z (GMT). No. of bitstreams: 1 CostaFilho_CiceroFerreiraFernandes_M.pdf: 1992645 bytes, checksum: b9f016046fac6a5a7...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
1985
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| Subjects: | |
| Online Access: | COSTA FILHO, Cicero Ferreira Fernandes. Contribuição ao estudo dos processos de corrosão de fotorresiste por plasma ionico e por ion reativo. 1985. 119f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258908>. Acesso em: 17 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258908 |