Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste
Orientador: Jacobus W. Swart === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica === Made available in DSpace on 2018-07-18T21:54:43Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Ramos_AntonioCelsoSaragossa_M.pdf: 4033740 bytes, checksum: c740eecdc7a2e85a5429be9bb98021c2...
Main Author: | Ramos, Antonio Celso Saragossa |
---|---|
Other Authors: | UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS |
Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
[s.n.]
1993
|
Subjects: | |
Online Access: | RAMOS, Antonio Celso Saragossa. Construção e caracterização de um equipamento de corrosão ionica reativa e sua aplicação na corrosão de tungstenio e fotorresiste. 1993. [86] f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259220>. Acesso em: 18 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259220 |
Similar Items
-
Corrosão de tungstenio por plasma
by: Verdonck, Patrick Bernard
Published: (1993) -
Sistema para corrosão anisotropica profunda de sensores microeletromecanicos
by: Oliveira, Rafael Vitor Degani de
Published: (2009) -
Contribuição ao estudo dos processos de corrosão de fotorresiste por plasma ionico e por ion reativo
by: Costa Filho, Cicero Ferreira Fernandes
Published: (1985) -
Decapagem de fotorresiste por plasma de O2 e SFG e a sua aplicação no processo de fabricação de "air bridger"
by: Yoshioka, Ricardo Toshinori
Published: (1992) -
Síntese, caracterização e estudos de precursores e de óxidos de molibdênio e de tungstênio
by: Zacharias, Marisa Aparecida [UNESP]
Published: (2014)