Nova tecnologia de obtenção de feixe de ions de erbio com implantador de media corrente utilizado em microeletronica
Orientador: Luiz Carlos Kretly === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-07-25T23:02:08Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Silva_NelmoCyriacoda_M.pdf: 4443890 bytes, checksum: e7445e48ea8055212013e5...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
1999
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| Subjects: | |
| Online Access: | SILVA, Nelmo Cyriaco da. Nova tecnologia de obtenção de feixe de ions de erbio com implantador de media corrente utilizado em microeletronica. 1999. 64f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/259499>. Acesso em: 25 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/259499 |