Gerador automatico de mascaras de processo para confecção de circuitos integrados : sistema de posicionamento digital

• Main Author: Souza, Manoel Francisco de
• Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
• Format: Others
• Language: Portuguese
• Published: [s.n.] 1981
• Subjects: Circuitos integrados
• Online Access: SOUZA, Manoel Francisco de. Gerador automatico de mascaras de processo para confecção de circuitos integrados: sistema de posicionamento digital. 1981. 1v. (varias paginações). Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260410>. Acesso em: 16 jul. 2018.; http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260410

Orientador : Carlos Ignacio Mammana === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas === Made available in DSpace on 2018-07-16T10:09:28Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Souza_ManoelFranciscode_M.pdf: 11154507 bytes, checksum: 14f8a62e9ca67b68b1862782ccde9f5c (MD5) Previous issue date: 1981 === Resumo: A litografia faz parte do conjunto de técnicas que concorrem para a fabricação de circuitos integrados em microeletrônica. Dentro do campo da litografia, a chamada litografia óptica é a técnica melhor estabelecida e a mais difundida. Seu uso implica na utilização de máscaras durante o processo de fotogravação. Essas máscaras podem ser obtidas a partir de reduções fotográficas de artes finais confeccionadas em "Rubylith" ou fotolito contendo a representação ampliada (100 a 200 vezes) das configurações desejadas. Neste trabalho é descrita a implantação de um sistema automático de desenho (SAD) para ser utilizado na geração dessas artes finais, tanto em "Rubylith" como em fotolito. O SAD é apresentado contendo três elementos: o de "hardware", o de "software" e o de óptica. O Elemento de "Hardware" além do controle elétrico engloba as partes mecânicas dos equipamentos, que compõem o SAD: coordenatógrafo com motivos de passo, adaptador de ferramenta de corte ou desenho ao coordenatógrafo, console, bastidor e leitora de fita de papel. O Elemento de "Software" engloba as sequências de instruções reconhecíveis pelo Elemento de Hardware" para gerar os desenhos desejados (PROGRAMAS DE DESENHO) e os programas (PROGRAMAS DE INTERFACE) que servem como meio de tradução dos dados de artes finais gerados por computador para a forma de PROGRAMAS DE DESENHO. O Elemento de óptica engloba ,a parte óptica do sistema para sensibilização de fotolito: uma fonte luminosa conectada a um módulo projetor por meio de um cabo de fibras ópticas === Abstract: Not informed === Mestrado === Mestre em Engenharia Elétrica