Projeto e fabricação de nao-estruturas por litografa interferometrica
Orientadores: Edmundo da Silva Braga, Lucila Helena D. Cescato === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-11T12:33:55Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Carvalho_EdsonJosede_D.pdf: 5686598 bytes, checks...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | CARVALHO, Edson Jose de. Projeto e fabricação de nao-estruturas por litografa interferometrica. 2008. 155p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260706>. Acesso em: 11 ago. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260706 |