Dieletricos de porta de oxinitreto de silicio obtidos por plasma ECR
Orientador: Jose Alexandre Diniz === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-04T00:09:15Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Manera_GleisonAllan_M.pdf: 6268703 bytes, checksum: 474f767862a4357997c32...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
2004
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| Subjects: | |
| Online Access: | MANERA, Gleison Allan. Dieletricos de porta de oxinitreto de silicio obtidos por plasma ECR. 2004. 86f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/261783>. Acesso em: 3 ago. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/261783 |