Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD
Orientador: Mario Antonio Bica de Moraes === Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-07-26T03:43:23Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Rangel_ElidianeCipriano_D.pdf: 787803 bytes, checksum: 0b3afb1a1012d775c5984bbf14f7931...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
[s.n.]
1999
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| Subjects: | |
| Online Access: | RANGEL, Elidiane Cipriano. Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD. 1999. 135p. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/278415>. Acesso em: 26 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/278415 |