Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上

Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上

Bibliographic Details
Main Authors: 森, 敏彦, MORI, Toshihiko, 福田, 俊一, FUKUDA, Syun'ichi, 竹村, 嘉彦, TAKEMURA, Yoshihiko
Language:ja
Published: 日本機械学会 2000
Subjects:
Coating
Laminated Construction
Composite Material
Hardness
Crystal Plasticity
Multilayer Film
Ti/TiN
Magnetron Sputtering
Silicone Substrate
Energy Method
Online Access:http://hdl.handle.net/2237/9035
id ndltd-NAGOYA-oai-ir.nul.nagoya-u.ac.jp-2237-9035
record_format oai_dc
spelling ndltd-NAGOYA-oai-ir.nul.nagoya-u.ac.jp-2237-90352013-01-10T17:36:03ZTi/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上森, 敏彦MORI, Toshihiko福田, 俊一FUKUDA, Syun'ichi竹村, 嘉彦TAKEMURA, YoshihikoCoatingLaminated ConstructionComposite MaterialHardnessCrystal PlasticityMultilayer FilmTi/TiNMagnetron SputteringSilicone SubstrateEnergy Method日本機械学会2000-07Article(publisher)http://hdl.handle.net/2237/90350387-5024日本機械学會論文集 C編. v.66, n.647, 2000, p.2409-2416ja日本機械学会本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである。
collection NDLTD
language ja
sources NDLTD
topic Coating
Laminated Construction
Composite Material
Hardness
Crystal Plasticity
Multilayer Film
Ti/TiN
Magnetron Sputtering
Silicone Substrate
Energy Method
spellingShingle Coating
Laminated Construction
Composite Material
Hardness
Crystal Plasticity
Multilayer Film
Ti/TiN
Magnetron Sputtering
Silicone Substrate
Energy Method
森, 敏彦
MORI, Toshihiko
福田, 俊一
FUKUDA, Syun'ichi
竹村, 嘉彦
TAKEMURA, Yoshihiko
Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上
author 森, 敏彦
MORI, Toshihiko
福田, 俊一
FUKUDA, Syun'ichi
竹村, 嘉彦
TAKEMURA, Yoshihiko
author_facet 森, 敏彦
MORI, Toshihiko
福田, 俊一
FUKUDA, Syun'ichi
竹村, 嘉彦
TAKEMURA, Yoshihiko
author_sort 森, 敏彦
title Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上
title_short Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上
title_full Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上
title_fullStr Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上
title_full_unstemmed Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上
title_sort ti/tin スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上
publisher 日本機械学会
publishDate 2000
url http://hdl.handle.net/2237/9035
work_keys_str_mv AT sēnmǐnyàn titinsupattaringubáomónoduōcénghuànitsuretenojīxièdetèxìngnoxiàngshàng
AT moritoshihiko titinsupattaringubáomónoduōcénghuànitsuretenojīxièdetèxìngnoxiàngshàng
AT fútiánjùnyī titinsupattaringubáomónoduōcénghuànitsuretenojīxièdetèxìngnoxiàngshàng
AT fukudasyunichi titinsupattaringubáomónoduōcénghuànitsuretenojīxièdetèxìngnoxiàngshàng
AT zhúcūnjiāyàn titinsupattaringubáomónoduōcénghuànitsuretenojīxièdetèxìngnoxiàngshàng
AT takemurayoshihiko titinsupattaringubáomónoduōcénghuànitsuretenojīxièdetèxìngnoxiàngshàng
_version_ 1716574445858979840

Similar Items