Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上

Ti/TiN スパッタリング薄膜の多層化につれての機械的特性の向上

Bibliographic Details
Main Authors: 森, 敏彦, MORI, Toshihiko, 福田, 俊一, FUKUDA, Syun'ichi, 竹村, 嘉彦, TAKEMURA, Yoshihiko
Language:ja
Published: 日本機械学会 2000
Subjects:
Coating
Laminated Construction
Composite Material
Hardness
Crystal Plasticity
Multilayer Film
Ti/TiN
Magnetron Sputtering
Silicone Substrate
Energy Method
Online Access:http://hdl.handle.net/2237/9035

Internet

http://hdl.handle.net/2237/9035

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