低能量離子蝕刻傷害之研究
碩士 === 國立中央大學 === 物理與天文學研究所 === 75 ===
Main Authors: | LI, GING-HUANG, 林慶煌 |
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Other Authors: | CHEN, FANG-YU |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
1987
|
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/92288806873505799036 |
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