低能磁控電漿促進之氧化矽薄膜成長
碩士 === 國立中央大學 === 物理與天文研究所 === 76 ===
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1988
|
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/39098782157476641095 |
碩士 === 國立中央大學 === 物理與天文研究所 === 76 ===
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1988
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/39098782157476641095 |