用濺鍍法製作CNx膜
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學與工程研究所 === 86 ===
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1998
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/84662750334226361504 |
| Summary: | 碩士 === 國立清華大學 === 材料科學與工程研究所 === 86 ===
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