矽晶圓拋光時溫度及磨粒對表面性質之影響
碩士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 87 ===
Main Authors: | Long-Kuo Chang, 張龍國 |
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Other Authors: | Pei-Lum Tso |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
1999
|
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/63814409015811534272 |
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