A study on TM01 mode electron cyclotron resonance microwave plasma

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 87 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Huang-Chieh Chen, 陳皇傑
Other Authors: K. C. Leou
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1999
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/22364256524815482108
Description
Summary:碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 87 ===