電漿RF鞘層內離子能量分佈之電腦模擬研究

電漿RF鞘層內離子能量分佈之電腦模擬研究

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 87 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Chau-Yi Huang, 黃朝毅
Other Authors: 胡瑗
Format: Others
Language:zh-TW
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08507895985350885983
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