電漿RF鞘層內離子能量分佈之電腦模擬研究
碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 87 ===
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08507895985350885983 |
碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 87 ===
| Main Authors: | , |
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| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08507895985350885983 |