電漿RF鞘層內離子能量分佈之電腦模擬研究
碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 87 ===
Main Authors: | Chau-Yi Huang, 黃朝毅 |
---|---|
Other Authors: | 胡瑗 |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08507895985350885983 |
Similar Items
-
中空磁控電漿之離子能量分佈
by: PAN, LI-CHANG, et al.
Published: (1986) -
電腦模擬研究電感耦合式乙炔電漿源
by: 洪捷粲 -
混合氣體電感式電漿源之電腦模擬研究
by: 王明浩
Published: (2003) -
晶圓式離子能量分析儀於ICP電漿源之量測與分析
by: 黃信嘉
Published: (2002) -
磁化電漿中雙離子逆向流所造成之電漿加熱過程的數值模擬研究
by: 林珍貞
Published: (1993)