Inductively-Coupled-Plasma(ICP) etching of GaN
碩士 === 國立海洋大學 === 光電科學研究所 === 88 ===
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2000
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ndltd-TW-088NTOU06140062016-01-29T04:14:30Z http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/42505294491391283141 Inductively-Coupled-Plasma(ICP) etching of GaN 氮化鎵感應耦合電漿(ICP-RIE)蝕刻之研究 劉銘雄 碩士 國立海洋大學 光電科學研究所 88 W.H.Lan 藍文厚 2000 學位論文 ; thesis 71 zh-TW |
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碩士 === 國立海洋大學 === 光電科學研究所 === 88 ===
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