擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 90 ===
Main Authors: | , |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
2002
|
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/23660044528966158336 |
id |
ndltd-TW-090NTHU0159114 |
---|---|
record_format |
oai_dc |
spelling |
ndltd-TW-090NTHU01591142015-10-13T10:34:05Z http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/23660044528966158336 擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 Chih-Te Hsieh 謝志德 碩士 國立清華大學 材料科學工程學系 90 周卓煇 2002 學位論文 ; thesis 101 zh-TW |
collection |
NDLTD |
language |
zh-TW |
format |
Others
|
sources |
NDLTD |
description |
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 90 ===
|
author2 |
周卓煇 |
author_facet |
周卓煇 Chih-Te Hsieh 謝志德 |
author |
Chih-Te Hsieh 謝志德 |
spellingShingle |
Chih-Te Hsieh 謝志德 擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 |
author_sort |
Chih-Te Hsieh |
title |
擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 |
title_short |
擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 |
title_full |
擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 |
title_fullStr |
擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 |
title_full_unstemmed |
擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 |
title_sort |
擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響 |
publishDate |
2002 |
url |
http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/23660044528966158336 |
work_keys_str_mv |
AT chihtehsieh kuòsànzǔàicéngduìtóngmóyīnglìxíngwèizhīyǐngxiǎng AT xièzhìdé kuòsànzǔàicéngduìtóngmóyīnglìxíngwèizhīyǐngxiǎng |
_version_ |
1716828988627746816 |