擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響

擴散阻礙層對銅膜應力行為之影響

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 90 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Chih-Te Hsieh, 謝志德
Other Authors: 周卓煇
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2002
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/23660044528966158336
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