擴散阻礙層氮化鋯與銅膜之應力行為

擴散阻礙層氮化鋯與銅膜之應力行為

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 92 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Ming-Shan Wang, 王明珊
Other Authors: 周卓煇
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2004
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/99646876523944395173
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