電感耦合式氯氣-氬氣電漿源研究
碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 93 ===
Main Author: | 李建樺 |
---|---|
Other Authors: | 胡瑗 |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
2005
|
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/34924486585379569843 |
Similar Items
-
電腦模擬研究電感耦合式乙炔電漿源
by: 洪捷粲 -
利用蘭牟爾探針量測混和氯氣及氬氣之電感式電漿
by: 龔茂林
Published: (2004) -
氯氣與氬氣混合電漿蝕刻製程之蝕刻剖面研究
by: 曾志偉
Published: (2002) -
高介電係數材料二氧化鉿之氯氣/氬氣混合電漿蝕刻製程研究
by: S. H. Shen, et al.
Published: (2005) -
螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
by: 吳雅芳
Published: (2002)