以原子層化學氣相沈積鍍製高介電鈦酸鑭薄膜與覆蓋於二氧化鉿閘極氧化層之影響

以原子層化學氣相沈積鍍製高介電鈦酸鑭薄膜與覆蓋於二氧化鉿閘極氧化層之影響

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 98

Bibliographic Details
Main Authors: Yu, Shih-Wei, 喻詩維
Other Authors: Wu, Tai-Bor
Format: Others
Language:en_US
Published: 2010
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/15341134242063136987
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