修整器設計及固定奈米鑽石拋光墊於改進化學機械拋光性能之研究
博士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 98
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2010
|
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/15708970622581720016 |
博士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 98
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2010
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/15708970622581720016 |