rfマグネトロンスパッタ法によるLiNbO[3]薄膜の作製とその弾性表面波特性に関する研究

• Main Author: 西田, 貴司
• Other Authors: 松重, 和美
• Format: Others
• Language: Japanese
• Published: 京都大学 2012
• Subjects: 500
• Online Access: http://hdl.handle.net/2433/154678

本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである === Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第7460号 === 工博第1752号 === 新制||工||1117(附属図書館) === UT51-98-N82 === 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻 === (主査)教授 松重 和美, 教授 松波 弘之, 教授 藤田 茂夫 === 学位規則第4条第1項該当